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真空度测试仪漏电电流的处理

更新时间:2023-08-28浏览:369次

真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司专家在磁控放电的研究中发现:在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。因此,我公司基于电离电荷的采样技术,显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。

漏电电流的处理

对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时,会有数值不等的几个微安的漏电电流,此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室,由于其周边的绝缘支撑件也有漏电,这些漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性,并且在数值上与10E-4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法,扣除了漏电电流,保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。